純氣

甲烷

99.9%

O₂+Ar＜50 ,H2＜50, N2＜250 ,C2H6＜600, H2O＜50

99.99%

O₂+Ar＜10,H2＜10, N2＜35 ,C2H6＜25, H2O＜15

99.995%

O₂+Ar＜5,H2＜5, N2＜15 ,C2H6＜15, H2O＜5

99.999%

O₂+Ar＜1,H2＜0.5, N2＜4 ,C2H6＜25, H2O＜3，CO2＜0.5，H₂S＜0.1

乙烷

C2H6

99.9%

O2≤50, N2≤40 ,HC≤1000

99.99%

O2≤2 ,HC≤100, N2≤5, H2O≤5  ,CO2≤5

乙烯

C2H4

99.95%

O2≤5 ,CH4,+C2H6≤500, C2+C3≤10，H2O≤5,,H2≤5，CO2≤5，CO≤1，C2H2≤3

丙烷

C3H8

98.5%

O2≤100 ,HC≤14000 ,CO+CO2≤10,  H2O≤12

99.95%

O2≤10, HC≤400 ,N2≤40, H2O≤5  ,CO2≤10

丙烯

C3H6

99.5%

HC≤1000, C3H8≤4000

99.99%

N2≤10 ,C3H8≤100, C4H6-1.3≤5  ,CH4≤5 ,C4H10≤5, C2H6≤50, C4H8≤5

電子工業用氣體

 丙烯

C3H6

99.99%

N2≤5，O2≤1 ,HC≤10 ,CO+CO2≤10, H2O≤2，C3H8≤80,

丙二烯

C3H4

98%

丙炔≤20000

丙炔

C3H4

98%

丙二烯≤20000

環丙烷

C3H6

99%

正丁烷

C4H10

99%

O2≤15 ,H2O≤20 ,HC≤1%

99.5%

O2≤15 ,H2O≤12 ,HC≤5000,  CO+CO2≤10

99.95%

O2≤10 ,H2O≤10 ,HC≤500  ,CO+CO2≤10

異丁烷

C4H10

99.5%

O2≤15 ,C3H8≤4000,  C4(uns.)≤100, H2O≤15 ,n-C4H10≤2500, CO+CO2≤10

99.99%

O2≤10 ,C3H8≤10 ,C4(uns.)≤50,  H2O≤5, n-C4H10≤50, CO+CO2≤10

丁烯-1

C4H8

99.9%

H2O≤10 ,HC≤1000

順-2-丁烯

C4H8

99.4%

HC≤6000

反-2-丁烯

C4H8

99.4%

HC≤6000

異丁烯

C4H8

99.99%

H2O≤5, HC≤100

1.3-丁二烯

C4H6

99.8%

O2≤5 ,N2≤10, HC≤2000

正戊烷

C5H12

99.5%

C5H10＜0.1wt%  i-C5H12: 0.4wt%

異戊烷

C5H12

99.3%

n-C5H12: 0.5%

氯甲烷

CH3Cl

99 %

甲醇≤4000

溴甲烷

CH3Br

99.99%

氧≤1,水≤2

氯乙烯

C2H3Cl

99.9%

氦氣

He

99.995%

CH4＜1 ,CO2＜1, Ne＜15, H2＜3, CO＜1, H20＜10 ,O2＜3，N2＜10

99.999%

O2＜1,CH4＜0.5, CO2＜0.5, Ne＜4  ,H2＜1, CO＜0.5 ,H2O＜3 ,N2＜2

99.9995%

O2＜0.5 ,CH4＜0.1,CO2＜0.2, Ne＜1, H2＜0.1,CO＜0.1 ,H2O＜1

電子工業用氣體

氦

He

99.9995%

O2＜0.5 ,THC＜0.5, CO+CO2＜1,H2O＜0.5，N2＜2

99.9999%

O2＜0.2 ,THC＜0.1, CO＜0.1,CO2＜0.1,H2O＜0.2，N2＜0.5

氬

Ar

99.99%

O2≤10 ,CH4≤5 ,N2≤50 ,H2≤5,  H2O≤15,CO≤5,CO2≤10

99.999%

O2≤1.5 ,CH4≤0.4, N2≤4, H2≤0.5,  H2O≤3，CO≤0.3,CO2≤0.3

99.9995%

O2≤1, THC≤0.5, N2≤2, H2≤0.5,  H2O≤1

電子工業用氣體

氬

Ar

99.9992

O2＜0.5 ,THC＜0.5 ,N2＜5 ,H2＜1,  H2O＜0.5,CO+CO2＜0.5

99.9999%

O2＜0.2 ,THC＜0.1 ,N2＜0.5 ,H2＜0.1,  H2O＜0.2,CO＜0.1，CO2＜0.1

氫

H2

99.99%

O2≤5 ,CO2≤5, N2≤60, CH4≤10  ,CO≤5, H2O≤10

99.999%

O2≤1 ,CO2≤1, N2≤5, CH4≤1 ,CO≤1 ,H2O≤3

99.9999%

O2+Ar≤0.2, N2≤0.4,CO2≤0.1,CO≤0.1,  CH4≤0.2,H2O≤0.5

電子工業用氣體

氫

H2

99.9995%

99.9995%

O2＜0.5, N2＜2,CO2＜0.5,CO＜0.5,  CH4＜0.5,H2O＜0.5

99.9997%

99.9997%

O2＜0.2, N2＜2,CO2+CO＜0.2, CH4＜0.2,H2O＜0.2

99.9999%

99.9999%

O2＜0.2, N2＜0.5,CO2＜0.05，CO＜0.05, CH4＜0.05,H2O＜0.2

氮

N2

99.99%

O2≤50 ,CO2≤10, H2≤15, CO≤5,  H2O≤15, CH4≤5

99.999%

O2≤3 ,H2O≤3, H2≤1, HC≤3

99.9999%

O2≤0.1 ,H2O≤0.5, H2≤0.1, HC≤0.3 ,Ar≤2

電子工業用氣體

氮

N2

99.9996%

O2＜0.5,H2O＜0.5, H2＜1, CO＜0.5，CO2＜0.5，THC＜0.5

99.9999%

O2＜0.2,H2O＜0.2, H2＜0.1, CO＜0.1，CO2＜0.1，THC＜0.1

氧

O2

99.995%

H2≤1,Ar≤10 ,CO2≤1, N2≤20,  THC≤2 ，H2O≤3

99.999%

H2≤0.5,Ar≤2 ,CO2≤0.5, N2≤5,  THC≤0.5 ，H2O≤2

99.9999%

H2≤0.1,Ar≤0.2 ,CO2≤0.1, N2≤0.1,  THC≤0.1 ，H2O≤0.5

電子工業用氣體

氧

O2

99.9998%

H2＜0.1,Ar＜1,CO2＜0.1,,CO＜0.1,  N2＜0.5, THC＜0.1 ，H2O＜0.1

99.98%

H2＜1,Ar＜100,CO2＜1,,CO＜1,  N2＜30, THC＜1 ，H2O＜1，氪＜10，一氧化氮＜1

二氧化碳

CO2

99.995%

O2≤10, H2O≤5, N2≤20, CO≤1 ,HC≤10

99.999%

O2≤1,H2O≤2,N2≤5,CO≤1,HC≤1

一氧化碳

CO

99.99%

H2＜10,O2+Ar＜10,N2＜50，CO2＜20，H2O＜5，THC＜5

99.998

H2＜1,O2+Ar＜2,N2＜10，CO2＜4，H2O＜1，THC＜2

二氧化硫

SO2

99.9%

氧+氮<100,水<10,其他<200

一氧化氮

NO

99.5%

氧化亞氮<4000,二氧化氮<2000,氮氣<300,二氧化碳<500

二氧化氮

NO2

99.9%

氧化亞氮

N2O

99.99%

電子工業用氣體

氧化亞氮

N2O

99.997%

O2＜2 ,CO2＜2, CO＜1，N2＜10, C1~C5＜1 ，H2O＜3，NH3＜5，NO＜1,NO2＜1

99.9994

O2＜0.5 ,CO2＜0.5, CO＜0.1，N2＜3, C1~C5＜0.1 ，H2O＜1

氖

Ne

99.995%

H2≤2 ,N2≤5, He≤40, THC≤1  ,O2+Ar≤2, H2O≤2

99.999%

O2≤1 ,N2≤5, H2O≤2 ,He≤10

氪

Kr

99.99%

N2≤20 ,H2≤2, O2+Ar≤5 ,Xe≤50,  H2O≤5, HC≤3

99.999%

N2≤3 ,H2≤0.5 ,O2+Ar≤1.5, Xe≤2  ,H2O≤2, CO≤0.3， CO2≤0.4，CH4≤0.3

氙

Xe

99.99%

N2≤20, Ar+O2≤5, N2O≤1 ,H2≤2  ,Kr≤50, H2O≤3 ,HC≤3

99.999%

N2≤2.5, CO≤0.2, CO2≤0.3,CH4≤0.3,N2O≤0.2, O2+Ar≤1.5 ,H2O≤2, H2≤0.5, Kr≤2

硫化氫

H2S

99.9%

氫氣<200ppm,氧氣+氮氣<100ppm,水<3ppm

液氯

Cl2

99.9%

二氧化碳<400,一氧化碳 <10,氫氣<200,氮氣<100,氧氣<20,水 <100

氯氣

Cl2

99.999%

氨

NH3

99.999%

氧氣 <1.0ppm,氮氣 <2.0ppm,一氧化碳<1.0ppm,水<2.0ppm,THC(C1~C3)  <1.0ppm

六氟化硫

SF6

99.999%

O2+Ar≤2 ,N2≤2，H20≤3, HF≤0.1, CF4≤1，CO≤0.5， CO2≤0.5，CH4≤0.5

合成空氣

Air

O2:19.5～22.5%

H2O≤5, CO/CO2≤0.5, THC≤5

零空氣

O2: 19.5～22.5%

H2O≤5, CO/CO2≤0.5, THC≤0.1